蛋白質凝固所需的溫度與其含水量有關，含水量越大，發生凝固所需的溫度越低。濕熱滅菌時的菌體蛋白質可吸收水分，因而比在同一溫度的干熱空氣中更易于凝固。濕熱氣體的穿透力比干熱氣體強，故濕熱比干熱收效好。高壓蒸汽可以殺死一切微生物，甚至包括細菌的芽孢，真菌的孢子等耐高溫的個體。滅菌的蒸汽溫度隨蒸汽壓力增加而升高，通過增加蒸汽壓力，滅菌時間可被大大縮短。因此它是一種*，使用廣泛的滅菌方法。

為了確保滅菌效果，應定期檢查滅菌效果，常用的方法是將硫磺粉末（熔點為115℃）或安息香酸（熔點為120℃）置于試管內，然后進行滅菌試驗。如上述物質熔化，則說明高壓蒸氣滅菌器內的溫度已達要求，滅菌的效果是可靠的。也可將檢測滅菌器效果的膠紙（其上有溫度敏感指示劑）貼于待滅菌的物品外包裝上，如膠紙上指示劑變色，亦說明滅菌效果是可靠的。